Name: Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)
Price: 604470.00 COP
Availability: InStock
Author: Hwang, Cheol Seong
ISBN: 9781461480532

portada Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)

Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

Springer

Autor

Hwang, Cheol Seong

Idioma

Inglés

N° páginas

263

Encuadernación

Tapa Dura

Dimensiones

23.8 x 16.3 x 2.0 cm

Peso

0.52 kg.

ISBN13

9781461480532

Categorías

Química física
Dispositivos y materiales electrónicos
Hardware (o soporte físico del ordenador)

Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)

Hwang, Cheol Seong (Autor) · Springer · Tapa Dura

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Reseña del libro "Atomic Layer Deposition for Semiconductors (en Inglés)"

Offering thorough coverage of atomic layer deposition (ALD), this book moves from basic chemistry of ALD and modeling of processes to examine ALD in memory, logic devices and machines. Reviews history, operating principles and ALD processes for each device.