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ultraclean surface processing of silicon wafers: secrects of vlsi manufacturing (en Inglés)
S. Heusler
(Traducido por)
·
Takeshi Hattori
(Ilustrado por)
·
T. Hattori
(Traducido por)
·
Springer
· Tapa Blanda
ultraclean surface processing of silicon wafers: secrects of vlsi manufacturing (en Inglés) - Hattori, Takeshi ; Hattori, T. ; Heusler, S.
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Reseña del libro "ultraclean surface processing of silicon wafers: secrects of vlsi manufacturing (en Inglés)"
This book summarizes the knowledge and experience of the successful Japanese semiconductor companies. For the first time the secrets of processing of semiconductor surfaces for device production are disclosed. All the people and companies involved in manufacturing of silicon-based semiconductor devices should have this book.
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El libro está escrito en Inglés.
La encuadernación de esta edición es Tapa Blanda.
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