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Plasma Etching: Fundamentals and Applications (Series on Semiconductor Science and Technology) (en Inglés)
M. Sugawara (Autor)
·
Oxford University Press
· Tapa Dura
Plasma Etching: Fundamentals and Applications (Series on Semiconductor Science and Technology) (en Inglés) - M. Sugawara
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Reseña del libro "Plasma Etching: Fundamentals and Applications (Series on Semiconductor Science and Technology) (en Inglés)"
This book focuses on the remarkable recent advances in understanding low pressure radio frequency glow discharges. It explains the basic analytical theory, plasma physics, and plasma diagnostics, before proceeding to the details of the etching process.
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